Met de nieuwe GSA verduidelijkt ASML de eisen voor oppervlaktereinheid die het aan verschillende componenten en modules stelt. Tegelijkertijd wordt de lat nog hoger gelegd, want voor de nieuwe 3500 NA machine zullen bepaalde onderdelen aan Grade 1 moeten voldoen. Dat vergt nog meer samenwerking in de keten, bleek op Clean 2020.
Dat oppervlaktereinheid van maakdelen hoog op de agenda staat, lijdt na Clean 2020 geen twijfel meer. Zo’n 290 mensen bezochten het evenement, de helft meer dan de eerste editie. Dat heeft alles te maken met de ontwikkelingen in de halfgeleiderindustrie, die steeds hogere eisen aan de oppervlaktereinheid stelt.
Grote opkomst Clean 2020 toont belang van cleanliness in de supply chain
Moleculaire verontreiniging
Bij de introductie van de EUV technologie lag de nadruk vooral op het voorkomen van vervuiling op het optiek. “Dat was het belangrijkste probleem. Deeltjesverontreiniging speelde toen nog niet”, legt Dirk Trienekens van de Proces & Clean Control Group van ASML, uit. Ondertussen zit de EUV technologie al op een dusdanige resolutie dat een deeltje van 5 nm voldoende is om problemen te veroorzaken. Moleculaire verontreinigingen krijgen tegenwoordig steeds meer aandacht. En dat maakt het extra lastig. Dirk Trienekens: “We zien de olifant, maar wij zijn bang voor de mieren. Waar we bang voor zijn, zijn deeltjes die een factor 1000 kleiner zijn dan we met UV licht zien.”
Grade 1 en aanscherping controleregels
ASML heeft een nieuwe GSA ontwikkeld, mede naar aanleiding van reacties van toeleveranciers. Belangrijke veranderingen zijn minder tekst, minder papierwerk en een schematisch overzicht van de eisen van Grade 5 tot en met Grade 1. Verder scherpt ASML de regels aan rond het controleren met UV-licht. De grote uitdaging zit vooralsnog in de nieuwe Grade 1 reiniging, een stap verder dan de huidige Grade 2 die als hoogste gold. Het gaat om hele strenge eisen volgens Trienekens, die ASML echter wel moet stellen. Vooralsnog komen de nieuwe eisen eventueel als er nieuwe TPD’s gemaakt moeten worden. Bestaande wil men niet veranderen.
Ketensamenwerking noodzakelijk
Een van de belangrijkste take aways van Clean 2020 is, zo vatte dagvoorzitter Philip van Beek van VCCN het samen dat ketensamenwerking meer dan ooit nodig is. De eisen komen op een zodanig niveau, dat absolute procesbeheersing nodig is en zelfs controle over de hele waardeketen. Daar voegde Christian Schelle van VAT Ventile nog aan toe dat de komende tijd procesvalidatie niet langer voldoende zal zijn. “Opdrachgevers zijn niet meer tevreden met een stabiel proces maar eisen bij elk ventiel een certificaat. Dat heeft enorme impact op kosten en levertijden”, aldus de Cleaning Specialist van de Zwitserse toeleverancier aan ASML.
Een uitgebreid artikel over Clean 2020 en de ontwikkelingen op het vlak van oppervlaktereinheid kun je eerdaags lezen in Made-in-Europe Solutions Magazine.
