ASML en ZEISS SMT harmoniseren eind dit jaar hun cleanliness standaarden en schuiven deze in elkaar tot één standaard. Dat maakt het voor toeleveranciers die aan beide leveren overzichtelijker. Op termijn verwachten de twee bedrijven dat het ook een positief effect zal hebben op de costs of goods, omdat suppliers efficiënter kunnen werken. Tijdens het Clean Event 2025 presenteren de twee hightech bedrijven een voorlopige versie van hun gezamenlijke cleanliness standaard.
ZEISS SMT is een van de key system suppliers van ASML. In het Duitse Oberkochen worden de spiegels voor de chipmachines gebouwd, waarvoor zeer hoge reinheidseisen gelden. Het moederconcern produceert ook andere hightech equipment zoals elektronenmicroscopen. Voor deze producten gelden dezelfde strikte cleanlinesseisen, samengevat in de ZEISS SMT FU documenten. Hierin staat gedetailleerd beschreven waaraan toeleveranciers zich moeten houden. Sommige suppliers die componenten voor de spiegels leveren, produceren ook andere onderdelen die ze direct aan ASML toeleveren. Qua cleanliness hebben ze dan te maken met de cleanliness GSA van het Nederlandse hightechbedrijf.
Zowel op het vlak van kosten als kwaliteit en waarschijnlijk ook logistiek gaat dit wel wat opleveren

Einde aan twee gescheiden processen
“Dit betekent dat sommige toeleveranciers twee processen hebben, één voor ons, één voor ZEISS”, zegt Steffijn de Koning, Cleanliness Architect bij ASML. Dat zal eind dit jaar verleden tijd zijn. Steffijn de Koning en zijn collega’s werken namelijk samen met de cleanliness experts van ZEISS SMT aan het harmoniseren van de beide standaarden. Dit doen ze onder de slogan Two Companies, one business. Dit initiatief is op gang gekomen doordat een toeleverancier van ZEISS SMT het ASML framework wilde gebruiken voor de productie van onderdelen voor de Duitsers. Later is het initiatief in een stroomversnelling geraakt toen duidelijk werd dat een harmonisatie een positief effect heeft op costs of goods, de productiekosten voor ASML die omlaag moeten. “Zowel op het vlak van kosten als kwaliteit en waarschijnlijk ook logistiek gaat dit wel wat opleveren”, zegt Steffijn de Koning.
Geen principiële verschillen
De teams van beide bedrijven hebben de standaarden naast elkaar gelegd. Er zijn verschillen, merkt De Koning op. Maar die zijn niet principieel. ZEISS SMT FU beschrijft meer gedetailleerd hoe een toeleverancier aan de cleanlinesseisen moet voldoen. Tot en met bijvoorbeeld het gebruik van welk type handschoen. De GSA van ASML biedt meer ruimte: het einddoel staat beschreven, hoe de supplier dit bereikt, is zijn eigen verantwoordelijkheid. Steffijn de Koning legt uit dat dit een bewuste keuze is. “Wij willen dat de supplier zelf competenties op het vlak van cleanliness opbouwt. Dat hebben ze ook gedaan. Ze hebben eigen teams die zelf de kennis hebben vergaard en deze doorgeven aan de volgende levels in de supply chains.” In de nieuwe, gemeenschappelijke standaard, volgt ZEISS SMT deze aanpak. Steffijn de Koning denkt dan ook dat de veranderingen voor toeleveranciers van het Duitse bedrijf groter zulle zijn dan die voor de ASML supply chain. “Op een paar punten hebben we een compromis moeten sluiten, maar daar zal onze supply chain weinig last van hebben.”
Nieuw: Cleanliness – particles Grade 3
Een van de veranderingen aan de kant van ASML is dat er een Grade 3 wordt geïntroduceerd. ZEISS SMT heeft specifieke eisen ten aanzien van de reinheid van componenten voor de binnenzijde van de optische spiegel. Deze pasten niet in de Grade 1, 2 en 4 niveaus van ASML. Deze worden in de gezamenlijke standaard daarom samengevat in Grade 3. Steffijn de Koning: “Wij zullen die voorlopig niet gebruiken, maar pas als dat nodig is.”
Kostenbesparing
Hoewel het in elkaar schuiven van de cleanliness standaarden in eerste instantie is ingegeven vanuit de kant van de suppliers, zien de twee bedrijven er nu ook een kans in om kosten in de keten terug te dringen. “Standaardisatie betekent dat processen efficiënter en kosteneffectiever worden. Het zal de QLTC verbeteren”, zegt Steffijn de Koning. Vooral voor toeleveranciers die beide OEM’s bedienen, wordt het eenvoudiger omdat ze de onderdelen over dezelfde lijn mogen laten gaan. Het is zelfs denkbaar dat componenten voor ASML en ZEISS SMT samen in één batch in een oven worden uitgestookt voor een RGA meting.
We willen op termijn naar een public standaard toe, want er staat geen IP in de GSA
Uitbreiding andere OEMs
Wat Steffijn de Koning betreft, gaan in de toekomst ook andere hightech OEMs zich conformeren aan de nieuwe, geharmoniseerde cleanliness standaard. “We willen op termijn naar een public standaard toe, want er staat geen IP in de GSA. En als we er een publieke standaard van maken, wordt het gemakkelijker om toeleveranciers aan boord te halen.”
Presentatie op Clean Event
De cleanliness teams van ASML en ZEISS SMT hebben de standaarden ondertussen voor een belangrijk deel op elkaar afgestemd. Tijdens het Clean Event op 17 april presenteren Steffijn de Koning en zijn evenknie bij ZEISS SMT, Martin Nalbach, niet alleen hoe ze de harmonisatie hebben aangepakt, ook een eerste versie van de geharmoniseerde standaard. Van beide bedrijven zijn die dag meerdere cleanliness experts aanwezig om met bezoekers het gesprek hierover aan te gaan. “Dat willen we graag, daarom doen we de presentatie samen en trekken we er een uur voor uit, waarvan een half uur voor de discussie. De rest van de dag zijn we op het event om toeleveranciers te woord te staan.”
Het Clean Event vindt op 17 april plaats in NH Koningshof in Veldhoven, tegelijk met Manufacturing Technology Conference. Meer informatie vind je hier.






