Ecoclean heeft in Zuid-Duitsland het nieuwe High Purity Test Center geopend. Hier staan vijf reinigingssystemen met speciaal voor de high purity-reiniging vereiste uitrusting ter beschikking. Tijdens de officiële opening was er veel aandacht voor de betekenis van cleanliness voor ASML en de aanpak bij toeleveranciers.
Ecoclean heeft €4 miljoen geïnvesteerd in het nieuwe testcentrum in Dettingen unter Teck, waar al een productielocatie gevestigd is. Hier kan de reiniging van componenten worden getest die aan de hoogste eisen in de industrie moeten voldoen. Denk hierbij aan onderdelen voor de halfgeleiderindustrie, precisie-optica, laser en hoogvauümtechniek gelden. Isabel Macedo van ASML schetste tegenover de 110 gasten tijdens de opening de manier waarop de chipmachinefabrikant aan cleanliness werkt, terwijl door Carl Zeiss SMT specifiek werd ingegaan op het reinigen van EUV systemen.
Reinigingsprocessen deels in cleanroom
Toegerust voor vóór- en eindreiniging voor de hoogste eisen
Het nieuwe High Purity Test Center beschikt over twee reinigingszones met verschillende reinheidsklassen. In de eerste staan een oplosmiddel gebaseerde reinigingsinstallatie met geïntegreerde lagedruk-plasmareiniging en een systeem voor waterige media. Deze zone wordt voor vóórreinigingen gebruikt om componenten op de eindreiniging in de clean room voor te bereiden. De eindreinigingszone is in een gevalideerde cleanroom klasse ISO 7 met zones ISO 6 ondergebracht. De uitrusting omvat een oplosmiddel gebaseerde installatie, een installatie voor water gebaseerde media en een multibad-ultrasoon reinigingsinstallatie met negen nat– en twee droogstations. Hier kunnen onder andere verschillende ultrasoon-frequenties, reinigingschemicaliën, PPC, en passiveren worden getest. Voor de droging staan eveneens verschillende mogelijkheden – ook in combinatie – ter beschikking.
Voldoen aan Grade 2 en 1 eisen
De in het nieuwe technologiecentrum geïntegreerde procesoplossingen voor osmose (RO)-, gedeïoniseerd (DI) en Ultra-Pure-water (UPW) maken toepassing mogelijk van alle in de ultrafijn- en high purity-reiniging gebruikte waterkwaliteiten. Met deze uitrusting kan worden voldaan aan extreem hoge reinheidseisen, bijvoorbeeld grade 2 en 1 van ASML Omdat alle installaties via de Cloud-oplossing Ecoclean Connect gekoppeld zijn, zijn de gegevens van de installaties en reinigingstests digitaal beschikbaar. Voor controle van de behaalde reinigingsresultaten is het testcentrum met verschillende meettechnologieën uitgevoerd. Geïntegreerd is ook een speciaal verpakkingsstation voor de gereinigde producten.
Alternatief
Ecoclean benadrukte tijdens de officiële opening dat het High Purity Test Center meer is dan een alternatief voor in-house testen. Door procesvalidaties voor nieuwe componenten in het test center uit te voeren, belasten klanten hun eigen gevalideerde reinigingsinstallaties niet. Ook kan men reinigingsproces en -parameters optimaliseren onafhankelijk van de reinigingstechnologie in eigen huis. Tot slot ondersteunt Ecoclean eventueel met job-cleaning.
