Als de klanten van ASML de lat hoger leggen, lees nog dunnere lijnen willen belichten, wordt ook voor de toeleveringsindustrie de lat opnieuw hoger gelegd. Dat doet ASML zeker op het vlak van industriële reiniging van kritische componenten. Voor de nieuwe High NA-lijn van de EUV-machine heeft ASML in de nieuwe GSA het niveau Grade 1 reiniging geïntroduceerd. Verspaners moeten rekening gaan houden met HIO elementen.
Tekst: Paul Meijerink (2-S), foto’s 2-S
De term HIO elementen zal velen onbekend in de oren klinken. Toch kent iedereen ze wel: zink, lood, magnesium, fosfor; in totaal noemt ASML er 14 in de nieuwe GSA (Generic Standard of ASML). Deze elementen mogen nog maar in zeer geringe mate op het oppervlak aanwezig zijn. De EUV-bundels in de machines van ASML creëren namelijk waterstof radicalen uit een waterstofgasomgeving, Hydrogen Induced Outgassing (HIO), als er te veel van deze elementen aanwezig zijn. Dat wil de chipmachinefabrikant niet, want deze gassen veroorzaken tot schade aan de optische onderdelen.
HIO-elementen vermijden is kwestie van voorkomen én reinigen
HIO-elementen zitten overal in
Dat gaat nog tot de nodige hoofdbrekens bij verspanende bedrijven leiden. Bepaalde HIO-elementen zitten namelijk ook in koelsmeermiddelen. Of in reinigingsmiddelen. Zelfs in het aluminium kom je magnesium tegen. We hebben daarom bij Eurofins een zogenaamde XPS-meting laten doen om de hoeveelheid van deze elementen in onze vloeistoffen vast te stellen. Ook met verspanende bedrijven hebben we al naar deze problematiek gekeken. Hun reactie is eigenlijk simpel: zolang we alle HIO-elementen bij het reinigen er vanaf krijgen, is er niks aan de hand. Alles staat of valt dus met de laatste druppel op het product voordat je het verpakt. Hiermee is dus indirect gezegd dat het reinigingsproces nog belangrijker gaat worden.
Voorkomen is beter
Toch vinden wij dit te kort door de bocht. Voorkomen is in dit geval beter dan genezen. Alles wat je er niet op zit, hoef je ook niet te reinigen. Met goede procesreiniging, ook tussen de processtappen in, en koelsmeermiddelen die van zichzelf al weinig van deze elementen bevatten, voorkom je naderhand problemen. Demiwater bewijst hierbij ook z’n meerwaarde. Demiwater is echt veel schoner dan leidingwater, ook al zie je het niet, testen wijzen het wel uit. Daarnaast moeten bedrijven zich er bewust van worden dat machines vaker gereinigd en koelmiddelbaden vervangen moeten worden. Ze hebben misschien nog wel de standtijd voor een efficiënte en goede productie, als de concentraties HIO-elementen te hoog wordt, kost reinigen te veel, laat staan als de elementen niet tot onder de grenswaarden van ASML teruggebracht kunnen worden. Het komt neer op risico’s uitsluiten: hoe schoner het voortraject, hoe kleiner het risico dat er een vervuiling achterblijft.
Overigens: onze Emulcut 160 en 160H, een nieuwe variant snijemulsies, blijken uit de analyses door Eurofins van zichzelf al weinig HIO-elementen te bevatten. En wat er niet in zit, kan er niet opkomen.
Paul Meijerink
Sales- en marketingdirecteur 2-S (Petrofer)
